Стандарты на рутений и его соединения: паспорта, ТУ, международные нормы

Специализированного российского ГОСТа на прокат из чистого рутения не существует. Ру-1 и другие рутениевые материалы поставляются по ТУ предприятий с обязательным паспортом ICP-анализа. Международные нормы ASTM B616 и ISO 6038 охватывают платиновые металлы, включая Ru.

Резистивные пасты с RuO₂

ОСТ 11.029.204-83 «Пасты резистивные» — основной отечественный стандарт на RuO₂-содержащие пасты для толстоплёночных резисторов. Нормирует вязкость пасты, температуру обжига, диапазон сопротивлений и ТКС. Международные аналоги: IPC-7351 (размещение компонентов), AEC-Q200 (квалификация пассивных компонентов для автомобильной электроники).

Мишени для напыления

Ru-мишени для PVD-оборудования поставляются по ТУ с нормированием: чистота Ru ≥ 99,95%, плотность ≥ 98% теоретической, зернистость ≤ 50 мкм, содержание газов (O, N, H) ≤ 50 ppm. Геометрия (круглая, прямоугольная, трубчатая) — по согласованию с заказчиком. Паспорт включает OES-анализ примесей и карту плотности методом ультразвука.

DSA-аноды

ТиО₂–RuO₂ покрытия для анодов хлорщелочного производства регламентируются внутренними ТУ производителей (De Nora, Bayer, Contitech). Российские хлорщелочные заводы используют аноды по ТУ 26.30.40-079 и аналогам. Испытания на ресурс — по ASTM G5 и ускоренным тестам при повышенной плотности тока.